硅片的等級標準

一、硅片的檢測
    彎曲是指有效面積內有規律的發生形變，翹曲是指有效面積內局部發生形變。

	A級	B級	C級	D級	E級
線痕： TV： TTV： 孿晶： 多晶： 裂紋、裂痕： 應力： 空洞： 缺角： V型缺口： 彎曲度翹曲度： 硅多晶線性尺寸長度：	無或輕線 無 無 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 無  6≦L≦100mm	≦10μm,≦5條 ≦20μm ≦15 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦,50μm 6≦L≦100mm	≦20μm,≦10條 ≦20μm ≦30 無 不存在多晶 無 無 無 無 無 ≦75μm 6≦L≦100mm	≦30μm,≦15條 ≦20μm ≦50 無 不存在多晶 無 有 無 無 無 ≦100μm 6≦L≦100mm	≦50μm ＞20μm ＞50 有 存在多晶 有 嚴重(可能碎裂) 有 有 有 ＞100μm L＜6或L＞100mm

（1）優等品
    1：硅片表面光滑潔凈
    2：TV：220±20um
    3：幾何尺寸：
    邊長：125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm
    邊長：103±0.5mm、對角：135±0.5mm
    邊長：150±0.5mm、156±0.5mm、對角：203±0.5mm、200±0.5mm
    同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm
    垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3
（2）合格品
    一級品：垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5
    二級品：1：表面有少許污漬、線痕。凹痕、輕微崩邊。
    2：220±30um ≤TV≤220±40um。
    3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30um
    4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形，崩邊口長度≤1mm ，深度≤0.5mm
    5：幾何尺寸：
    邊長：125±0.52mm；對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm
    邊長：103±0.52mm、對角：135±0.52mm
    邊長：150±0.52mm、156±0.52mm、對角：203±0.52mm、200±0.52mm
    同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm
    垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8
    三級品：
    1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅洛現象
    2：220±40um ≤TV≤220±60um
    3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落部分硅晶脫落
 （3）不合格品
    嚴重線痕、厚薄片：TV＞220±60um
    崩邊片：有缺陷但可以改￠103的硅片
    氣孔片：硅片中間有氣孔
    外形片：切方滾圓未能磨出的硅片
    倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差＞1.5mm
    菱形片：（垂直度）：任意兩邊的夾角＞90°±0.8
    凹痕片：硅片兩面凹痕之和＞30um
    臟片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑
    尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級片的范圍。
    注：以上標準針對的硅片厚度為220um
二、硅片等級分類及標準（150*150）
    （1） 優等品（Ⅰ類片）
    1、物理、化學特性
    ①型號：P 晶向[100]±1°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命：T=1.3—3.0us（在測試電壓≥20mv下裸片的數據）
    ⑤電阻率：0.9—1.2、1。2—3.0 、3.0-6.0Ω/cm
    ⑥位錯密度：≤3000個/cm
    2、幾何尺寸：
    ①邊長：125*125±0.5mm
    ②對角：150*150±0.5mm
    ③同心度：任意兩弧長之差≤1mm
    ④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.3°
    ⑤厚度：200±20 um，（中心點厚度≥195um，邊緣四角厚度≥195um）
    180±20 um，（中心點厚度≥175um，邊緣四角厚度≥160um）
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦彎曲度：≤40um
    3、表明指標：
    ① 線痕：無可視線痕
    ②目視表面：無粘污、無水漬、染色、白斑、指印等
    ③無崩邊：無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
  （2）合格品（Ⅱ類片）
    1、物理、化學特性
    ①型號：P 晶向[100]±1°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命：T=1.3—3.0us（在測試電壓≥20mv下裸片的數據）
    ⑤電阻率：0.5-0.8Ω/cm
    ⑥位錯密度：≤3000個/cm
    2、幾何尺寸：
    ①邊長：125*125±0.5mm
    ②對角：150*150±0.5mm
    ③同心度：任意兩弧長之差≤1.5mm
    ④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.3°
    ⑤厚度：200±20 um，（中心點厚度≥195um，邊緣四角厚度≥180um）
    180±20 um，（中心點厚度≥175um，邊緣四角厚度≥160um）
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦彎曲度：≤40um
    3、表明指標：
    ① 線痕：無明顯線痕、觸摸無凹凸感。
    ③崩邊范圍：崩邊口不是“V”型，長X 深≤1X0.5mm ，無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲
（3） 等外品（Ⅲ類片）
    1、物理、化學特性
    ①型號：P/N 晶向[100]±3°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子壽命：T＜1.0us（在測試電壓≥20m下裸片的數據）
    ⑤電阻率：≤0.5Ω/cm
    ⑥位錯密度：＞3000個/cm
    2、幾何尺寸：
    ①邊長：125*125±1.0mm
    ②對角：150*150±1.0mm
    ③同心度：任意兩弧長之差≤1.5mm
    ④垂直度：任意兩辦的夾角90°±0.5°
    ⑤厚度：＜160um
    3、表明指標：
    ① 有明顯視線痕，觸摸有凹凸感